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常見問題

  • 01 出現分子泵過流?;す收閑藕旁趺窗??

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    分子泵過流?;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷:
    1)加速中過流?;?/strong>
     可能情況:系統漏氣、真空度較差
     檢測方法及建議:
     1)觀察分子泵前級真空度是否優于10Pa;
     2)用檢漏儀對系統進行整機檢漏,確保系統無漏;
     3)確保系統漏率在允許范圍內且前級優于10Pa后重啟分子泵。
    2)恒速運行中過流?;?/strong>
     可能情況:分子泵運行中負載突變
     檢測方式及建議:
     1)觀察系統真空度變化過程;
     2)若出現較明顯變化(如10-4Pa降至10-1Pa),則會出現過流?;で榭?。

  • 02 出現分子泵過熱?;す收閑藕旁趺窗??

    分子泵在運轉過程中需要進行冷卻,分風冷和水冷兩種。應分別診斷:
    (1)水冷分子泵
             可能情況1:水流量、水壓、水溫、環境溫度異常
             檢測方法及建議1
             1)檢查水流量是否大于1L/min,水壓是否高于0.15MPa;
             2)水溫是否低于25℃,環境溫度是否低于40℃;
             3)上述條件如不滿足,建議客戶改善外部環境,從而保證設備正常運行。
             可能情況2:分子泵水路堵塞
             檢測方法及建議2
             1)正常通水的情況下,將出水管拔出,檢查水流情況,判斷堵塞的嚴重程度;
             2)若屬于一般堵塞(出水量大約為進水量的1/2),建議增大水壓或采用壓縮空氣沖洗水路;
             3)若屬于重度堵塞(出水量不足進水量的1/3)且沖洗無效,建議返廠維修。
             可能情況3:熱繼電器損壞
             檢測方法及建議3:
             1)報警后,?;?~3小時(保持冷卻),用萬用表測量分子泵熱繼電器阻值;
             2)8芯產品測量6、8腳,12芯產品測量5、6腳,若繼電器損壞,屬于開路狀態;
             3)熱繼電器損壞時,建議返廠維修。
    (2)風冷分子泵
             可能情況1:環境溫度異常
             檢測方法及建議1
             環境溫度是否低于35℃,若不滿足,建議用戶改善外部環境,以保證分子泵正常運行;
             可能情況2:熱繼電器損壞
             檢測方法及建議2
             1)報警后,?;?~3小時,用萬用表測量熱繼電器器阻值;
             2)8芯產品測量6、8腳,12芯產品測量5、6腳,若繼電器損壞,屬于開路狀態;
             3)熱繼電器損壞時,建議返廠維修。
             可能情況3:風扇未運轉、導線故障
             檢測方法及建議3
             1)查看風扇能否正常運轉,并根據具體情況選擇是否更換風扇;
             2)檢查風扇供電線是否有斷路或許虛接,以保證供電正常。
             可能情況4:控制器風扇插座無電壓輸出
             檢測方法及建議4:
             用萬用表測量風扇插座輸出電壓是否正常,并根據具體情況進行修復。
             可能情況5:電纜線故障
             檢測方法及建議5
             測量電纜線導線是否有虛接、斷路等情況,并及時修復,然后即可正常使用。
             可能情況6:控制器損壞
             檢測方法及建議6
             1)將分子泵端電纜線與泵脫開,短接6、8腳(8芯泵)或5、6腳(12芯泵); 
             2)閉合控制器電源開關,如果控制器顯示過熱報警,建議返廠維修。
     

  • 03 出現分子泵過載?;す收閑藕旁趺窗??

    分子泵過載?;し治卣髕德使睪推淥德使乇;ち秸徘榭?,應分別診斷:
    (1)特征頻率過載
             可能情況:軸承損壞、葉片卡死、碎泵
             檢測方式及建議:
             1)油潤滑分子泵,潤滑油短時間變黑;換油后短時間再次變黑說明軸承損壞;
             2)油潤滑分子泵,轉動供油錐;脂潤滑分子泵轉動葉片,如果可以轉動但手離開后馬上停止或有明顯的遲滯現象,說明軸承損壞;如果不能轉動,說明葉片卡死或碎泵;
             3)上述情況,建議返廠維修。
    (2)其它頻率過載
             可能情況1:分子泵加速中長期漏氣,電流過大
             檢測方法及建議1
             1)觀察分子泵前級真空度是否優于10Pa;
             2)用檢漏儀對系統進行整機檢漏,確保系統漏率在允許范圍內;
             3)確保系統漏率在允許范圍內且前級優于10Pa后重啟分子泵。
             可能情況2:前級真空度偏低
             檢測方法及建議2
             測量分子泵前級口真空度,確保優于10Pa,并無漏氣后,再次啟動分子泵。
             可能情況3:前級閥損壞
             檢測方法及建議3
             取下前級閥進行檢測,如損壞則更換。
             可能情況4:電纜線故障
             檢測方法及建議4:
             測量電纜線導線本身是否有虛接、斷路等情況,并及時修復,然后正常啟動分子泵。
             可能情況5:控制程序問題
             檢測方法及建議5
             查看控制器工作頻率與所使用分子泵是否一致,若不匹配,建議將控制器返廠維修。

  • 04 FD-K分子泵控制器故障代碼都是什么含義?

    FD-K電源故障代碼
    E001 加速中過流
    E003 恒速運行過流
    E004 加速中過壓
    E011 散熱器過熱
    E013 變頻器過載
    E014 電機過載
    E015 外部設備故障
    E016 EEPROM讀寫錯誤
    E017 RS485通訊錯誤
    E019 變頻器程序損壞
    E020 CPU錯誤
    E022 外部給定故障

  • 05 FD-II(B)、TCDP-II分子泵控制器故障代碼都是什么含義?

    FD-II(B)、TCDP-II控制器故障代碼
    故障代碼 故障類型
    ERR 按鍵錯誤?;?/td>
    OC 控制器短路?;?/td>
    OL2 分子泵過流?;?/td>
    SL 分子泵過載?;?/td>
    OE 控制器過壓?;?/td>
    LU 控制器欠壓?;?/td>
    ESP 分子泵過熱?;?/td>
    OH 控制器過熱?;?/td>

  • 06 掃描電鏡更換燈絲后看不到像怎么辦?

    可能原因:燈絲對中不好,電子束沒有打下來

    處理方法:更換完燈絲,拉開V1,加高壓,加對比度,亮度放在合適位置,加燈絲電壓,使束流飽和,這時沒有信號,調節電對中無作用,這時要將電對中X、Y放在"0"附近。為了大致確定離子束偏向那邊,三個螺釘先調那一個,是向下調還是向上調,首先要在三個螺釘的部位用雙手按壓幾下,如果按壓時,屏幕突然亮了,用內六角扳手調節按壓附近的螺釘,屏幕上有信號,將亮度、對比度調節適當,再依次調節每一個螺釘,觀察圖像最亮。然后再調節電對中X、Y,使圖像在最亮處。

  • 07 掃描電鏡圖像模糊不清,且像散很大,調節消像散不能有效消除怎么辦?

    可能原因:光闌或鏡筒受污染
    (1)物鏡光闌污染需要高溫清洗或更換;
    (2)鏡筒污染嚴重,需要清洗;
    處理方法:
    (1)先調節物鏡光闌桿更換光闌,調節消像散至圖像清晰;
    (2)如上述方法失效,說明鏡筒污染,需進行維護保養,清洗維護。
    補充說明:
          通常情況下,電子束斑是圓形的,由于電子光學鏡筒輕微污染或光闌污染,電子束斑呈橢圓形,消像散器用于修正這個橢圓形斑束。
             
                         圖1-欠聚焦                                                      圖2-過聚焦

                         圖3-正聚焦

  • 08 1出現分子泵過流?;す收閑藕旁趺窗??

    分子泵過流?;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?,應分別診斷: (1)加速中過流?;し腫穎霉鞅;し治鈾僦泄鞅;び牒闥僭誦兄泄鞅;ち街智榭?/p>

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